真空炉的维修流程：  
    1、编制真空炉使用维护操作规程，建立真空炉运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强真空炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的维修，并根据真空炉工作负荷和运行状况，提前有针对性地准备真空炉修理用零部件，编制真空炉运行维护方案。如真空炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关，在每天24小时加工生产的情况下，真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次．这取决于钎焊工作的类型和使用次数。真空炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，10min后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次（进行烘炉）。  
    在真空系统检漏时，除临时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。找到漏点以后进行维修（一般密封圈老化比较多），定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油，如发现油遇水乳化，真空下跌，必须更换上面4个泵油，应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。  
    2、真空炉维修好后的使用初期要经常进行检查，检查使用后的真空炉表温度和炉子实际温度是否一致(定期进行真空计、温控仪、热电偶、电压表、电流表的检定、校准工作），检查三相加热体是否存在过热损伤情况、温度不均或发白等现象。对于三相高温真空炉，以及真空电阻炉容量超过100kW时，每相、每一个加热区都应安装有电流表，发现真空炉温与仪表指示不正常，及时分析处理。  
    3、不能超负荷使用真空炉，真空炉的高使用温度是指元件在真空中允许的本身表面温度，并不是指加热物质的温度或加热元件周围的温度。要注意真空电热元件本身的温度一股比它周围的介质温度或被加热温度高100℃。  
    4、要避免加热元件和产品发生反应，尤其足铜、铝、锌、锡、铅等与真空加热元件接触，无论是细粉、熔液或蒸汽等，防止在电加热体表面侵蚀形成“麻坑”，截面变小，最后过热而烧断。  
    5、测量真空炉温均匀性时，应注意测温触点的定位捆绑方式，以及距加热元件的远近。真空炉内经常(至少每天或每班使前)用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛，要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发生短路，甚至烧坏钼加热棒。底板、钼加热棒、炉保温层等耐热钢构件每使用一段时间，应该进行清理，严禁敲击，可小心清除其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清除，就会熔融处与保温层发生打火，使钼丝熔化。  
    6、真空炉子升温后，不能突然破坏真空系统，更不可打开真空炉炉门。注意充大气进去前,应关闭真空计开关,防止真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。对于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大情况下，容易引起氧化。对于钼加热炉，正常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护氮气。  
80℃以下才能打开炉门。  
    7、冷却系统是真空炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是真空炉工作时常披忽视的问题当无人管理时可能会导致真空炉的重大毁坏。用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。真空炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。  
    8、关键是做好停电应急措施，控制柜应有电源急停装置。必须做好停电的预防措施！  
碰上突然停电时可用发电机抽冷却水,也可冲氮气冷却真空炉。防止真空炉因停电而超温损坏密封圈。真空炉的循环水系统严禁断水!冷却水的压力必须按照额定压力设备冷却水进口处压力：0.15～0.3MPa、流量约30m3/h。进水温度≤32℃、推荐用户主水泵配扬程约50m,流量约30m3/h。需要水池及冷却塔。压缩空气源：0.4～0.8MPa、流量：1m3/h。真空炉因为安装了水温、水压和流量继电器，当出现不正常情况时应能断电，并及时报警。  
    9、真空炉的真空抽气系统中配备与电源联锁的自动阀门，在发生停电事故时能够关断抽气管路，防止空气和真空泵油进入炉内。