真空炉是于二十世纪四十年代发展起来的重要的工业加热设备，广泛应用于钛、锆、钨、钼、铌等活性金属、难熔金属及其合金、铝箔、电工纯铁、软磁合金、铜管带等金属材料的无氧化光亮退火；高速工具钢、模具钢的光亮淬火；不锈钢、钛、铝、铜、硬质合金、高温合金、陶瓷等同种材料或异种材料之间的无钎剂真空钎焊；硬质合金、稀土永磁材料钕铁硼等粉末冶金材料的真空烧结；电子管、真空开关、不锈钢保温容器的真空排气与封接等等。在航空、航天、船舶、车辆、机械、电子、石化、工具、材料、家电等行业正日益发挥越来越大的作用。
　　编制真空炉使用维护操作规程，建立此炉运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强此炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的维修，并根据此炉工作负荷和运行状况，提前有针对性地准备此炉修理用零部件，编制此炉运行维护方案。如此炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关，在每天24小时加工生产的情况下，真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次．这取决于钎焊工作的类型和使用次数。此炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的此炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次（进行烘炉）。

　　在真空系统检漏时，除临时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。找到漏点以后进行维修（一般密封圈老化比较多），定时检查此炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油，如发现油遇水乳化，真空下跌，必须更换上面4个泵油，应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。