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还原炉是皮江法炼镁还原工序的关键主体设备,还原炉从炉型选择到结构设计再到车间系统配置设计,对其工程建设投资、生产实用性、能耗指标、工艺技术指标、生产运行成本等,有着重要的影响。
还原炉是生产多晶硅的核心设备,其采用钟罩式反应器,将混合后的SiHCl3和H2从反应器底部的众多喷口喷入,SiHCl3和H2反应,非均向成核生成多晶硅沉积在硅芯表面,逐渐长大成硅棒,生长过程中硅棒表面温度1050~1100C。在非均向成核进行的同时,SiHCl3和H2也发生均向成核反应生成无定型硅粉,反应的程度主要取决于温度、配比等方面的因素。为避免均向成核产生大量的硅粉,流体采用混流,即喷嘴引入冷物流持续喷向高温的硅棒表面,避免局部温度过高引发爆米花和大量硅粉的产生,这种模式也决定了还原炉喷口直喷、气流底进底出的现有模式。也正因为此,高温进料(进料温度高会引起大量硅粉)及平推式反应模型(比如喷口完全侧喷、气流底进顶出)都是会失败的。
流体力学模拟是个复杂的计算过程,小编为了简化说明问题,把复杂的计算和抽象的模拟舍弃,仅以几个气体射流基本公式来推理喷口流速的合理取值。
气体射流是流体力学基本的模型,当气体从孔口或管嘴以一定的流速喷出后,由于射流为紊流流态,紊流的横向脉动造成射流与周围气体发生动量交换,从而把相邻的静止流体卷吸到射流中来,两者一起向前运动,于是射流的过流断面沿程不断扩大,流量不断增加。
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