真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。但是，在日常使用时，它的应急措施我们一定的了解！
　　一、冷却水异常
　　1、确认加热电源已停止。
　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。
　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。
　　4、在高温时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。
　　二、真空烧结炉压缩空气的停止
　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。
　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。
　　三、停电
　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。
　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。
　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。
　　四、加热电源掉电
　　1、水压低，压力表报警。
　　2、接地故障。
　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。
　　4、电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
　　五、真空烧结炉真空室压力恶化
　　1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。
　　2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。