真空炉的操作步骤，主要体现在以下这些方面：
　　
　　1、打开真空炉门并装料。关闭炉门，确保炉子密封良好。
　　
　　2、检查所有手动真空阀，确保其关闭。
　　
　　3、当主电源接通时，控制显示屏亮起。
　　
　　4、打开冷水机组电源，在冷水机组操作界面输入所需水温，启动水冷系统（详见冷水机组操作手册）。
　　
　　5、打开旋叶泵上的排气口，确保气体循环。（使用旋片泵后，密封通风口，防止杂质进入旋片泵）确保扩散泵和旋片泵阀门关闭。
　　
　　6、在触摸屏操作界面上启动旋叶泵和扩散泵。
　　
　　7、缓慢旋转并打开旋片泵阀，以避免因排气口空气量过大而喷油。
　　
　　8、在旋片泵和扩散泵运行约1小时后，真空表右侧显示屏显示小于100Pa，关闭旋片泵阀，打开扩散泵阀。
　　
　　9、当真空表显示屏上达到所需的真空度时，关闭真空泵组并开始加热。（真空泵组关闭过程：先关闭扩散泵阀→停止扩散泵→40分钟后停止旋转叶片泵）也可以在抽真空期间加热。
　　
　　10、在升温操作界面输入所需的工艺要求，开始加热。
　　
　　11、加热程序停止后，（如果在添加过程中抽真空，则在真空炉的炉膛温度降至适合该过程的温度后关闭真空泵机组，关闭过程同上），只有扩散泵的温度降至可触摸温度时才能关闭扩散泵。
　　
　　12、当炉膛温度降至室温时，打开排气阀，等待炉膛内压力达到大气压。
　　
　　13、打开炉门，取出材料。
　　
　　14、材料取出后，应清洁真空炉内部。长时间不用时，炉门应保持关闭，炉内应保持真空状态。
　　
　　真空炉的热处理效果能否达到预期的效果，对掌握正确的操作流程至关重要。同时，按照正确的步骤操作也是设备的维护措施，可以降低故障率，延长使用寿命。