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真空烧结炉正确的操作步骤如下:
1、通电前检查
通电前,检查各开关是否处于(关闭)位置,加热模式是否为“手动”,电源调节是否逆时针旋转到底(低)。确认后,按工艺要求的顺序启动机械泵和扩散泵。
2、测量炉内真空度
根据真空计的操作,当达到所需的真空度时,可以对其进行加热。
3、抽真空
严密关闭所有真空阀,启动机械泵,正常运行后打开通向炉体的低真空阀,提前从炉体中抽出空气。阀门应缓慢打开,以避免机械泵的排气口喷出油。
4、打开真空阀
在对炉体抽真空的同时,打开真空阀,对扩散泵进行排气。当真空度达到15Pa时,首先打开扩散泵上的冷却水,然后加热扩散泵。一般情况下,扩散泵工作约45分钟后,关闭通向炉体的真空阀,打开真空阀,真空度很快将达到1.33×10-1Pa以上,电炉即可通电加热。
5、加热
二次加热的真空度容易下降,因为放气较多。此外,由于工件加热和放气,真空度也会下降,所以当真空度下降到1.5Pa时,需要缓慢升温并停止加热,当真空度上升到0.5Pa以上时,需要慢慢加热。当压力低于20Pa时扩散泵无法工作。此外,扩散泵油在真空度过低时容易氧化,导致扩散泵故障。
6、手动加热
当炉膛温度低于200℃时,手动升温,否则温度控制不准确。在真空状态下按下加热启动按钮,缓慢调整手动电源(顺时针),使电流缓慢上升。禁止超过1100A的额定电流,炉膛温度会随之升高。1000-2000℃,炉温可由红外自动控制。
7、冷却
可以根据预设程序控制温度,也可以直接关闭加热装置进行冷却。但是,冷却过程中不允许停水,否则会烧坏炉体的密封圈。
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