真空炉出现温度过高的故障应按照下面的步骤进行处理。

1.首先检查所在工作区温控器参数是否正常，参考其他正常使用

中的温控器校对所有参数。 

2.根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出端是否被击穿，

具本方法：停电后，用万用表电阻档测量固态继电器输出端两点之间的电阻，正常时，电阻会有几兆欧以上，如果被击穿，则几乎没有电阻，必须按同型号换上新的。 

3.在通电开机的情况下，用手轻摇相应工作区内的热电偶探头，

看看所对应的温控器显示是否跳动幅度很大，如果有此现象，则说明热电偶探头接触不良，需更换新的。