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第三代半导体材料之碳化硅 气氛炉
ITO靶材常压烧结工艺进展 真空热压炉
真空热压炉由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成。
真空炉是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接
ITO靶材烧结工艺
AZO靶材 热压制备工艺 真空热压烧结炉
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