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热压烧结炉主要由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成。
1.炉体全部采用不锈钢制造,为双层结构,分内外桶体,炉底封头采用旋压工艺加工。因为热压装置产生的力要由炉体承受,炉体必须具有很高的强度和足够的刚度,在外力和高温下不得变形。炉底动密封装置的固定座中心线与炉体上法兰盘必须垂直,以保证下顶杆运动的直线度。动密土封装置固定座有良好的冷却条件,以延长密封件的使用寿命。
2.炉盖由炉盖体、举起油缸和上压头组成。炉盖为双层结构,为承受下顶杆传递的压力,必须具有足够的强度和刚度。上压头的下端工作时处于高温区,必须强制冷却。
3.保温桶由隔热桶、反射桶、保温层及桶体组成,分别用石墨、钼片、石墨毡和不锈钢制作。用钼片制作的反射桶主要抵御由发热元件产生的辐射热,以免损害保温层和炉体。
4.热压烧结炉热压装置由液压站、油缸、举起油缸、下顶杆及控制器组成。
5.发热元件是炉子的关键部件,由托盘、发热体组成,全部用高碳石墨加工。在发热电源功率一定的情况下,炉子的温度取决于发热元件的几何形状和尺寸。发热体和电源由发热体、托盘、引入电极、干式变压器、可控硅电压调节器组成。
6.热压烧结炉真空系统由真空阀门、扩散泵、旋片式真空泵、管路及真空测量仪表构成。真空系统是在炉体的漏率达到最低极限时,能保证炉子正常工作的关键。能否实现高真空度取决于真空泵的抽速、阀门的密封性、管路的密封和漏率性能能否达到要求。
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